三維形貌儀的光源發出的光經過擴束準直後經分光棱鏡後分成兩束，一束經被測表麵反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光終匯聚並發生幹涉，顯微鏡將被測表麵的形貌特征轉化為幹涉條紋信號，通過測量幹涉條紋的變化來測量表麵三維形貌。儀器采用白光軸向色差原理對樣品表麵進行快速、重複性高、高分辨率的三維測量，測量範圍可從納米級粗糙度到毫米級的表麵形貌，台階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、製藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發和生產提供了一個準確的、價格合理的計量方案。

　　三維形貌儀適用於各種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表麵形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖麵，三維線路、混合和固定繪圖，用於階越高度測量的地區差異繪圖。