三維形貌儀的應用有三維表麵輪廓測量、粗糙度測量、膜的台階高度測量、空間分析和表麵紋理表征、曲率測量、二維薄膜應力測量、表麵質量和缺陷檢測等。

　　三維形貌儀的幾大校準方法：

　　1.三維形貌校準

　　這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關，所以稱為三維校準。主要包括對幹涉物鏡參考麵形貌誤差的標定；以及使用標準台階塊對台階高度測試精度校準。

　　2.二維光強校準

　　這一校準和成像視場範圍內的“光強”信號相關。設備有一些功能，可以增強用戶對樣品表麵觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表麵紋理；真彩模式可以複現表麵彩色信息。

　　由於以上功能相關標定都隻涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強校準。

　　3.橫向校準

　　這一校準是為了標定在當前設置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。

　　三維形貌儀很多測試結果和分析設置，如溝槽寬度，孔徑尺寸，坡度斜率，空間濾波，拚接測量，都基於或和橫向尺寸相關。對於這些結果和分析，橫向尺寸的標定是至關重要的。